Αρχή ελέγχου πίεσης του εξοπλισμού επικάλυψης κενού

1. Εισαγωγή φόντου
Ο εξοπλισμός επικάλυψης κενού είναι ένα είδος εξοπλισμού που χρησιμοποιείται ευρέως στη βιομηχανική παραγωγή. Η κύρια λειτουργία του είναι να τοποθετηθεί το υλικό που πρέπει να επικαλυφθεί στον θάλαμο επίστρωσης κενού και μέσω της αντίδρασης κάτω από υψηλής θερμοκρασίας και υψηλού περιβάλλοντος κενού, το στρώμα μεμβράνης εναποτίθεται ομοιόμορφα στην επιφάνεια του υλικού. , και σχηματίζουν ένα συγκεκριμένο στρώμα επικάλυψης με ειδικές λειτουργίες και χαρακτηριστικά. Μεταξύ αυτών, ο βαθμός κενού και ο ρυθμός προσκόλλησης στον εξοπλισμό είναι σημαντικοί δείκτες που επηρεάζουν την ποιότητα του στρώματος επικάλυψης και η σταθερότητα του πτυχίου κενού εξαρτάται από τον έλεγχο πίεσης στον εξοπλισμό.
2. Αρχή ελέγχου πίεσης του εξοπλισμού επίστρωσης κενού
1. Ορισμός του πτυχίου κενού
Πριν από την εισαγωγή της αρχής του ελέγχου πίεσης, είναι απαραίτητο να εισαχθεί το κενό. Στη φυσική, το κενό αναφέρεται σε ένα περιβάλλον φυσικού αερίου του οποίου η πίεση είναι μικρότερη από την ατμοσφαιρική πίεση, οπότε ο βαθμός κενού αναφέρεται στην πίεση του αερίου σε ένα συγκεκριμένο χώρο. Γενικά, το κενό μετράται συνήθως σε pascals (PA) ή μέτρα bar (MBAR). Στον εξοπλισμό επικάλυψης κενού, το συνηθισμένο εύρος κενού είναι 10^-6pa ~ 10^-2pa.
2. Η αρχή του ελέγχου πίεσης
Όταν το κενό είναι πολύ υψηλό ή πολύ χαμηλό, θα επηρεάσει την κανονική λειτουργία του εξοπλισμού. Ως εκ τούτου, είναι απαραίτητο να ελέγχεται το επίπεδο κενού στον εξοπλισμό μέσω μιας συγκεκριμένης μεθόδου. Μεταξύ αυτών, ο έλεγχος πίεσης είναι μια σχετικά απλή και αποτελεσματική μέθοδος ελέγχου. Συγκεκριμένα, η αρχή του ελέγχου πίεσης είναι να χρησιμοποιηθεί ένας ελεγκτής πίεσης για τον έλεγχο του ρυθμού ροής αερίου στον εξοπλισμό, ανιχνεύοντας την πίεση του ελεγχόμενου άκρου και στη συνέχεια μέσω του μηχανισμού ανάδρασης, ελέγχοντας το άνοιγμα της βαλβίδας, έτσι ώστε να επιτευχθεί ο σκοπός του ελέγχου της πίεσης.
3. Η βασική σύνθεση του ελεγκτή πίεσης
Στον εξοπλισμό επικάλυψης κενού, ένας ελεγκτής πίεσης χρησιμοποιείται γενικά για τον έλεγχο της πίεσης. Η βασική του σύνθεση περιλαμβάνει τέσσερα μέρη: αισθητήρα ανίχνευσης, ελεγκτή, ενεργοποιητής και σύστημα ελέγχου.
Αισθητήρας ανίχνευσης: Χρησιμοποιείται κυρίως για την ανίχνευση της αλλαγής πίεσης του ελεγχόμενου άκρου και τη μετατροπή του σε αντίστοιχη έξοδο ηλεκτρικού σήματος για χρήση από τον ελεγκτή.
Ελεγκτής: Λαμβάνει κυρίως την έξοδο ηλεκτρικού σήματος από τον αισθητήρα, επεξεργάζεται και αναλύει το και στη συνέχεια τροφοδοτεί το αποτέλεσμα της ανάλυσης πίσω στον ενεργοποιητή για να ελέγξει τον βαθμό ανοίγματος του ενεργοποιητή.
Ενεργοποιητής: Ελέγχει κυρίως τον ρυθμό ροής του αερίου στον εξοπλισμό ελέγχοντας τον βαθμό ανοίγματος της βαλβίδας, έτσι ώστε να επιτευχθεί ο σκοπός του ελέγχου της πίεσης.
Σύστημα ελέγχου: Χρησιμοποιείται κυρίως για την παρακολούθηση και τον έλεγχο διαφόρων δεικτών στον εξοπλισμό, όπως η θερμοκρασία, ο βαθμός κενού κ.λπ., και η δημιουργία μιας σειράς στρατηγικών ελέγχου.
3. Περίληψη
Συνοπτικά, η αρχή του ελέγχου πίεσης στον εξοπλισμό επικάλυψης κενού είναι ο έλεγχος της πίεσης στον εξοπλισμό μέσω ενός σχετικά απλού και αποτελεσματικού μηχανισμού ανάδρασης. Η δημιουργία ενός τέτοιου σταθερού συστήματος ελέγχου απαιτεί την τεχνική υποστήριξη διαφόρων πτυχών του συστήματος ελέγχου του εξοπλισμού, όπως η παρακολούθηση των παραμέτρων, ο αλγόριθμος ελέγχου, ο έλεγχος του ενεργοποιητή, η σύνδεση του συστήματος κλπ. Αυτοί οι τεχνικοί παράγοντες απαιτούν τη συνεργασία ορισμένου επαγγελματικού και τεχνικού προσωπικού για να διασφαλιστεί ότι ο εξοπλισμός μπορεί να παρουσιάσει εξαιρετική απόδοση.