Κατανοήστε πώς πραγματοποιείται η διαδικασία επικάλυψης κενού

Επικάλυψη κενούείναι μια διαδικασία που χρησιμοποιείται για την κατασκευή υψηλής ποιότητας υλικά λεπτής ταινίας. Παράγει λεπτές μεμβράνες με θερμικά εξατμίζοντας ή διασκορπίζοντας οργανικά ή ανόργανα υλικά στην επιφάνεια ενός υποστρώματος υπό συνθήκες κενού. Αυτό το άρθρο θα εισαγάγει λεπτομερώς την εφαρμογή της επίστρωσης κενού.

Η διαδικασία επικάλυψης κενού περιλαμβάνει τα παρακάτω βήματα:

1. Επιλέξτε το σωστό υπόστρωμα και υλικό

Η επιλογή του σωστού υποστρώματος και του υλικού είναι το πρώτο βήμα στην επικάλυψη κενού. Το υπόστρωμα μπορεί να είναι γυαλί, πλαστικό, μέταλλο ή άλλα νανοϋλικά. Τα υλικά μπορούν να είναι οργανικά ή ανόργανα, όπως μέταλλα, ημιαγωγοί, οξείδια ή νιτρίδια.

2. Φορτώστε το σύστημα επίστρωσης κενού

Το δεύτερο βήμα είναι να φορτώσετε το υπόστρωμα και τα υλικά στο σύστημα επικάλυψης κενού. Το σύστημα επικάλυψης κενού περιλαμβάνει θάλαμο κενού, εξατμιστή μετάλλου, ψεκασμό και σύστημα ελέγχου. Ο θάλαμος κενού είναι ένας κλειστός χώρος που χρησιμοποιείται για τη διατήρηση ενός περιβάλλοντος κενού, των εξατμιστών μετάλλων και των σπηλών είναι συσκευές που χρησιμοποιούνται για την εξατμιστική ή την υλικά από ψεκασμό σε υποστρώματα και το σύστημα ελέγχου χρησιμοποιείται για την παρακολούθηση και την προσαρμογή του περιβάλλοντος κενού και της εξάτμισης υλικού ή της ταχύτητας ψεκασμού.

3. Κενό

Μετά τη φόρτωση του υλικού και του υποστρώματος, ο θάλαμος κενού πρέπει να εκκενωθεί. Η ακτίνα είναι ένα πολύ σημαντικό βήμα, επειδή η διατήρηση ενός περιβάλλοντος χαμηλής πίεσης και υψηλής καθαρότητας μπορεί να εγγυηθεί την ποιότητα της μεμβράνης. Το περιβάλλον κενού είναι συνήθως κάτω από 10^-6 mbar για να αποκλείσει τα μόρια αερίου και άλλους ρύπους.

4. Υλικό εξάτμιση ή ψεκασμό

Όταν το περιβάλλον κενού φτάσει στην επιθυμητή πίεση, το υλικό μπορεί να εξατμιστεί ή να εκτοξευθεί πάνω στο υπόστρωμα. Υπάρχουν δύο μέθοδοι εξάτμισης υλικού: η θερμική εξάτμιση και η εξάτμιση της δέσμης ηλεκτρονίων. Το ψεκασμό έχει επίσης δύο μεθόδους: το ψεκασμό μαγνητρόνων και το ψεκασμό τόξου. Όποια μέθοδος χρησιμοποιείται, πρέπει να ελεγχθεί η εξάτμιση υλικού ή το ποσοστό ψεκασμού και το πάχος του φιλμ.

5. Κάντε πολυστρωματική ταινία

Μόλις κατασκευαστεί μια μεμβράνη ενός στρώματος, μπορούν να στοιβάζονται πολλαπλά στρώματα για να σχηματίσουν ένα σύνθετο. Μπορούν να χρησιμοποιηθούν διαφορετικά υλικά και διαδικασίες εναπόθεσης, όπως εναλλασσόμενη εναπόθεση, συν-εναπόθεση υλικού πολλαπλών πυροβόλων όπλων και εναπόθεση ζωνών.

6. Δοκιμαστική ποιότητα μεμβράνης

Το τελευταίο βήμα είναι να δοκιμαστεί η ποιότητα της μεμβράνης. Οι δοκιμές μπορούν να περιλαμβάνουν πάχος, φυσικές ιδιότητες, οπτικές ιδιότητες και ηλεκτρικές ιδιότητες, μεταξύ άλλων. Προσδιορίστε εάν το υλικό μεμβράνης πληροί τις απαιτήσεις σύμφωνα με τα αποτελέσματα των δοκιμών.

Εν ολίγοις, η τεχνολογία επικάλυψης κενού είναι μια μέθοδος για την επίτευξη υψηλής ποιότητας λεπτές μεμβράνες. Πρέπει να επιλέξει το κατάλληλο υπόστρωμα και το υλικό, να φορτώσει το σύστημα επίστρωσης κενού, να κενό, να εξατμιστεί ή να ψεκαστεί το υλικό, να δημιουργήσει φιλμ πολλαπλών στρώσεων και να δοκιμάσει την ποιότητα του φιλμ. Η τεχνολογία επικάλυψης κενού έχει χρησιμοποιηθεί ευρέως σε πεδία ηλεκτρονικών, οπτικών, ιατρικών και ενεργειακών.